圧電天びん法とは、表面応力センサー（SPM）の性能を監視するための測定法です。SPMとは、原子間力顕微鏡（AFM）や、表面力顕微鏡（SFM）など、表面の構造や物性を調べるために使用される装置です。SPMは、先端が鋭いプローブを表面に接触させ、プローブと表面との間の相互作用を測定することで表面の情報を得ることができます。SPMは、様々な分野で広く使用されており、その性能は非常に重要です。しかし、SPMのプローブは、使用していると摩耗したり、汚染したりして性能が劣化することがあります。そのため、SPMの性能を監視し、劣化を検出することが必要です。圧電天びん法は、SPMの性能を監視するための測定法の一つです。この方法は、SPMの先端の近くに圧電素子を設置し、圧電素子に電圧をかけてプローブを振動させます。プローブの振動は、表面との相互作用によって変化するため、プローブの振動を測定することで表面の情報を得ることができます。また、プローブの振動の変化から、プローブの性能を評価することもできます。圧電天びん法は、SPMの性能を監視するための簡単な方法であり、SPMのプローブの劣化を検出することができます。そのため、SPMの性能を維持し、正確な測定を行うために、圧電天びん法は広く使用されています。